过滤装置及应用该过滤装置的真空镀膜装置

摘要

本发明提供一种过滤装置，其包括管道装置、电磁发生装置、一磁吸附装置及一物理吸附装置，该管道装置包括一主体管、分别与主体管连通的第一支管及一第二支管，该电磁发生装置套设在该主体管邻近该第一支管的一端。该磁吸附装置可拆卸地容置在该第一支管内，该物理吸附装置可移动地安装在该主体管内。该过滤装置可大大降低冷却水中的杂质，提高与该过滤装置连接的冷却水循环装置的冷却效率，还可延长冷却水循环装置及被冷却装置的使用寿命。另外，本发明还提供一种应用所述的过滤装置的真空镀膜装置。

主权项

一种过滤装置，其特征在于：该过滤装置包括一管道装置、一电磁发生装置及一磁吸附装置，该管道装置包括一主体管及与主体管连通的第一支管，该电磁发生装置套设在该主体管邻近该第一支管的一端，该磁吸附装置可拆卸地容置在该第一支管内。