发明名称 微凸块结构的制造方法
摘要 本揭露涉及一种微凸块(micro bump)结构的制造方法,其包含提供一基板;形成一球下冶金层于该基板中供容置锡球;设置一缓冲层于该基板上;置放一锡球于该球下冶金层上并与其接合;以及硏磨该锡球使其高度达到一预定值。
申请公布号 CN103681361A 申请公布日期 2014.03.26
申请号 CN201310108676.8 申请日期 2013.03.29
申请人 南茂科技股份有限公司 发明人 廖宗仁
分类号 H01L21/48(2006.01)I 主分类号 H01L21/48(2006.01)I
代理机构 北京市铸成律师事务所 11313 代理人 孟锐
主权项 一种微凸块结构的制造方法,包含:提供一基板;形成一球下冶金层于该基板中供容置锡球;设置一缓冲层于该基板上;置放一锡球于该球下冶金层上并与其接合;以及研磨该锡球使其高度达到一预定值。
地址 中国台湾新竹