抗反射涂层

摘要

提供了可用于抗反射涂层以减少除气的新型自交联性聚合物。

主权项

聚合物，包含第一重复单元和第二重复单元，所述第一重复单元衍生自包含侧挂活性氢的烯属不饱和化合物，所述第二重复单元可与所述第一重复单元共聚合，所述聚合物中的侧挂活性氢的至少10mol％被氨基塑料替代，其中所述聚合物在酸性条件下能够自交联，并且可溶于溶剂中，其中所述第一重复单元是甲基丙烯酸羟乙酯并且所述第二重复单元是甲基丙烯酸苄基酯，或其中所述第一重复单元是烯丙醇并且所述第二重复单元是苯乙烯；和所述氨基塑料是N，N，N，N‑四(甲氧基甲基)甘脲。