发明名称 |
用于镀膜工艺中的冷却水系统 |
摘要 |
本实用新型一种用于镀膜工艺中的冷却水系统,通过布置于阴极温控单元及泵和电源温控单元内的冷却水处理装置,以改善系统中的水质,并由布置于阴极温控单元的加热装置,以保障向阴极供给冷却水温度的相对恒定;另外,根据实际工况选择相应的泵和电源冷却模式,减少冷却机组的使用时间,以节约能量,并且所采用的高温冷却机组直接提供20℃~30℃的冷却水,不用二次换热,提高了冷却效率并降低了冷却系统的投资。此外,该冷却水系统结构简单,组装方便,安全性能好。因此,本实用新型一种用于镀膜工艺中的冷却水系统,在为阴极提供一个较佳冷却环境并及时排除泵和热源产热的前提下,提高了冷却效率并降低了冷却系统的投资。 |
申请公布号 |
CN203498462U |
申请公布日期 |
2014.03.26 |
申请号 |
CN201320600324.X |
申请日期 |
2013.09.26 |
申请人 |
上海酷仑冷却技术有限公司 |
发明人 |
郭凤朝;关迪伟;翟佳雷 |
分类号 |
C23C14/22(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/22(2006.01)I |
代理机构 |
上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 |
代理人 |
吴世华;林彦之 |
主权项 |
一种用于镀膜工艺中的冷却水系统,其特征在于,包括阴极温控单元、泵和电源温控单元、高温冷却机组、冷却塔及冷却水流动管道,其中,所述阴极温控单元及泵和电源温控单元包括换热装置、冷却水处理装置、过滤装置和冷却水管路压力平衡装置,所述冷却水处理装置和过滤装置相并联连接于所述换热装置和冷却水管路压力平衡装置之间;所述阴极温控单元及泵和电源温控单元内的换热装置与所述冷却塔连接;所述高温冷却机组的冷凝器和蒸发器端分别与所述冷却塔和所述泵和电源温控单元内的换热装置连接;所述阴极温控单元、泵和电源温控单元和高温冷却机组相互之间并联连接;所述阴极温控单元及泵和电源温控单元还分别与阴极及泵和电源连接;另外,所述泵和电源温控单元还包括一温度自控模块,其根据冷却水温度自动控制所述高温冷却机组和冷却塔与该泵和电源温控单元的连接与否。 |
地址 |
202150 上海市崇明县城桥镇秀山路8号3幢2层L区2004室(崇明工业园区) |