一种工件高度测量装置及其校正方法

摘要

一种工件高度测量装置及其校正方法，包括光源射出光线通过狭缝分为狭缝光束，倾斜入射到工件形成入射光束，再射到测量光斑经工件反射形成反射光束通过反射镜组形成平行光束；分光镜把平行光束分为第一、第二测量光束；第一、第二测量光束分别通过第一、第二探测镜组后被第一、第二线阵电荷耦合器件接收，分别形成第一、第二图像。工件位于零位时，将第一、第二图像拼接，计算子光斑的零位间距；工件离焦时，将获得的第一、第二图像拼接，计算子光斑的离焦间距；根据子光斑的零位间距、离焦间距计算各个子光斑的位移，将其平均值作为光斑位移平均值计算工件离焦量。本发明测量精度高，工艺适应性强。

主权项

一种工件高度测量装置，包括：光源、照明镜组、狭缝、投影镜组，所述光源发出的光线依次通过所述照明镜组和所述狭缝后，被分为若干束光线，所述若干束光线通过所述投影镜组后倾斜入射到位于工件台的工件上，形成入射光线，所述入射光线经过所述工件反射后，形成反射光线；其特征在于，还包括：反射镜组，所述反射光线通过所述反射镜组后形成若干束平行光束；分光镜，把所述平行光束分为第一测量光束和与所述第一测量光束垂直的第二测量光束；第一探测镜组和第一线阵电荷耦合器件，第一线阵电荷耦合器件接收通过第一探测镜组后的第一测量光束，取得第一图像；第二探测镜组和第二线阵电荷耦合器件，第二线阵电荷耦合器件接收第二探测镜组后第二测量光束，取得第二图像；所述第一探测镜组和所述第二探测镜组与分光镜的距离相同，所述第一线阵电荷耦合器件与所述第一探测镜组和所述第二线阵电荷耦合器件与所述第二探测镜组的距离相同，所述第一探测镜组和所述第二探测镜组的放大倍率相同，所述第一线阵电荷耦合器件和所述第二线阵电荷耦合器件的参数相同，所述第二线阵电荷耦合器件相对于所述第一线阵电荷耦合器件反向放置。