液态微机电系统电容器

摘要

本发明涉及一种液态微机电系统电容器，其包括第一电容器板，第二电容器板，通道，电介质掺杂微滴，以及微滴致动模块。所述通道被实施或被嵌入在板的一个或多个层中，以及所述电介质掺杂微滴被包含在所述通道中。微滴致动模块，其可操作改变相对于第一和第二电容器板的电介质掺杂微滴，其中所述第一和第二电容器板接近所述通道并彼此间隔距离，从而改变所述液态MEMS电容器的介质特性。

主权项

一种液态微机电系统（MEMS）电容器，包括：第一电容器板；第二电容器板；在板材的一个或多个层中的通道，其中，所述第一电容器板和第二电容器板接近所述通道并且彼此间隔；电介质掺杂微滴，包含在所述通道中；以及微滴致动模块，可操作相对于所述第一电容器板和所述第二电容器板改变所述电介质掺杂微滴，从而改变所述液态微机电系统电容器的介质特性。