发明名称 |
一种AR膜和AF膜同炉镀膜设备及镀膜方法 |
摘要 |
本发明涉及一种AR膜和AF膜同炉镀膜设备,包括真空腔室、基片架系统和镀膜沉积系统,所述基片架系统位于所述真空腔室内部,所述基片架系统,包含多个可翻转的单根立柱;所述镀膜沉积系统,包含安装于真空腔室内壁上至少一对溅射阴极、离子源和位于基片架系统内侧的蒸发源。通过位于真空腔体的内壁上的溅射阴极对基片进行AR膜镀制,单根立柱将镀完增透膜的基片翻转到内侧通过蒸发源对基片进行AF膜的镀制,达到制作过程时间短,无需在AR制作完成后换一台镀膜机进行AF制作,提高了批量化制作时的良率以及产能的效果,且表面不易被污染。 |
申请公布号 |
CN103668093A |
申请公布日期 |
2014.03.26 |
申请号 |
CN201310613534.7 |
申请日期 |
2013.11.27 |
申请人 |
昂纳信息技术(深圳)有限公司 |
发明人 |
宋光耀;范文明;檀晓兵 |
分类号 |
C23C14/35(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/35(2006.01)I |
代理机构 |
深圳市君盈知识产权事务所(普通合伙) 44315 |
代理人 |
陈琳 |
主权项 |
一种AR膜和AF膜同炉镀膜设备,包括真空腔室、基片架系统和镀膜沉积系统,所述基片架系统位于所述真空腔室内部,其特征在于:所述基片架系统,包含多个可翻转的单根立柱;所述镀膜沉积系统,包含安装于真空腔室内壁上至少一对溅射阴极、离子源和位于基片架系统内侧的蒸发源。 |
地址 |
518118 广东省深圳市坪山新区翠景路西侧35号 |