发明名称 |
一种投影物镜光学系统 |
摘要 |
本发明提出一种投影物镜光学系统,将掩模图形从物平面经过光学系统传送到像平面,所述投影物镜光学系统沿其光轴方向从物面一侧顺次包括:第一透镜、第二透镜、第三透镜、孔径光阑、第四透镜、第五透镜、第六透镜;所述第一透镜、第二透镜、第三透镜分别与第六透镜、第五透镜、第四透镜关于孔径光阑完全对称。其中,第一透镜具有正光焦度,第二透镜具有负光焦度,第三透镜具有正光焦度;第二透镜与第三透镜构成第一透镜组;第一透镜、第二透镜与第三透镜之间的光焦度分配满足以下条件:G111∶G113=-0.73~-0.79,第一透镜与第一透镜组光焦度比值为:G111/G123=3.72~3.91;其中,G111、G113分别为第一、第三透镜的光焦度;G123为第一透镜组的光焦度;第四透镜、第五透镜与第六透镜的光焦度分配也满足上述条件。 |
申请公布号 |
CN103676096A |
申请公布日期 |
2014.03.26 |
申请号 |
CN201210319547.9 |
申请日期 |
2012.09.03 |
申请人 |
上海微电子装备有限公司 |
发明人 |
郭银章;孙晶露 |
分类号 |
G02B13/18(2006.01)I;G02B13/22(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I |
主分类号 |
G02B13/18(2006.01)I |
代理机构 |
北京连和连知识产权代理有限公司 11278 |
代理人 |
王光辉 |
主权项 |
一种用于光刻领域的投影物镜光学系统,将掩模图形从物平面经过光学系统传送到像平面,其特征在于,所述投影物镜光学系统沿其光轴方向从物面一侧顺次包括:第一透镜、第二透镜、第三透镜、孔径光阑、第四透镜、第五透镜、第六透镜;所述第一透镜、第二透镜、第三透镜分别与第六透镜、第五透镜、第四透镜关于孔径光阑完全对称;其中,第一透镜具有正光焦度,第二透镜具有负光焦度,第三透镜具有正光焦度;第二透镜与第三透镜构成第一透镜组;第一透镜、第二透镜与第三透镜之间的光焦度分配满足以下条件:G111∶G113= ‑0.73~‑0.79,第一透镜与第一透镜组光焦度比值为:G111 /G123=3.72~3.91;其中,G111、G113分别为第一、第三透镜的光焦度;G123为第一透镜组的光焦度;第四透镜、第五透镜与第六透镜的光焦度分配也满足上述条件。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号 |