平板显示器的半透过电极用Ag合金膜及平板显示器用半透过电极

摘要

本发明提供一种平板显示器的半透过电极用Ag合金膜。该Ag合金膜是能实现半透过的膜厚比较薄的Ag合金膜，其电阻率较低，显示期望的反射率和透过率，且即使经由加热工序也不易使特性劣化（例如电阻率不易增加），适用于平板显示器。该Ag合金膜是设于基板上的半透过电极所用的Ag合金膜，其特征在于，含有0.1～1.0at％的Bi，且膜厚为5nm以上且小于25nm，而且表面电阻值为15Ω／单位面积以下。

主权项

一种平板显示器的半透过电极用Ag合金膜，其是设于基板上的半透过电极所用的Ag合金膜，其特征在于，该Ag合金膜含有0.1～1.0at％的Bi且膜厚为5nm以上且小于25nm，而且，表面电阻值为15Ω／单位面积以下。