发明名称 APPARATUS FOR INSPECTING AN IMAGE SENSOR AND METHOD FOR INSPECTING THE SAME
摘要 <p>이미지 소자의 검사 장치 및 이미지 소자의 검사 방법이 개시된다. 이미지 소자의 검사 장치는 제1 기판, 제2 기판, 연결부재, 접촉부재 및 확산부재를 포함한다. 상기 제1 기판은 광이 투과되는 제1 홀 및 상기 제1 홀의 주변에 형성되고, 이미지 소자에 인가되는 전기적 신호를 전송하는 제1 배선을 포함한다. 제2 기판은 상기 제1 홀의 하부에 형성된 제2 홀 및 상기 제2 홀의 주변에 형성되고, 상기 이미지 소자에 인가되는 전기적 신호를 전송하는 제2 배선을 포함한다. 상기 연결부재는 상기 제1 기판과 상기 제2 기판의 사이에 배치되고, 상기 제1 배선과 제2 배선을 전기적으로 연결한다. 상기 접촉부재는 상기 제2 배선과 전기적으로 연결되고, 상기 제2 기판의 하면으로부터 돌출되어 상기 이미지 소자에 전기적으로 접촉한다. 상기 확산부재는 상기 제2 홀에 삽입되고, 상기 제1 홀에 입사한 광을 이미지 소자에 균일하게 제공하기 위하여 확산시킨다.</p>
申请公布号 KR101377168(B1) 申请公布日期 2014.03.25
申请号 KR20070073235 申请日期 2007.07.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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