| 摘要 |
<p>이미지 센서의 단위 화소 및 수광 소자가 제공된다. 빛을 흡수하는 수광 소자는, 일정 각도의 V형 홈이 형성되는 기판, 상기 V형 홈의 상부에 플로팅된 구조로 형성되어 빛이 입사되는 수광부, 상기 수광부와 상기 V형 홈 사이에 형성되고 터널링이 발생하는 산화막, 상기 V형 홈의 일측의 경사면에 상기 산화막과 인접하여 형성되고, 상기 산화막을 경계로 상기 수광부와 이격되는 소스, 상기 V형 홈의 타측의 경사면에 상기 산화막과 인접하여 형성되고, 상기 산화막을 경계로 상기 수광부와 이격되는 드레인 및 상기 소스와 상기 드레인 사이에서 상기 V형 홈을 따라 형성되어, 상기 소스와 드레인 간에 전류의 흐름을 형성하는 채널을 포함하되, 상기 수광부는 제1형 불순물로 도핑되고 상기 소스 및 상기 드레인은 제2형 불순물로 도핑되며, 상기 수광부는 상기 산화막에 의해 상기 소스 및 상기 드레인으로부터 절연되며, 상기 수광부에 입사된 빛에 의해 상기 수광부에서 전자-정공쌍(EHP)이 생성되고, 상기 소스 또는 드레인 중 하나 이상과 상기 수광부의 사이에서 상기 산화막에서의 집중된 전계에 의한 터널링이 발생하고, 상기 전자-정공쌍의 전자는 상기 터널링에 의해 상기 수광부로부터 상기 소스 또는 드레인 중 하나 이상으로 방출되어, 상기 전자의 방출에 의한 상기 수광부의 전하량의 변화에 의해 상기 채널의 전류 흐름이 제어된다.</p> |
