MASK

摘要

본 출원은, 마스크, 마스크의 제조 방법, 광 조사 장치, 광 조사 방법 및 정렬된 광배향막의 제조 방법에 관한 것이다. 본 출원의 마스크를 사용하면, 피조사체의 표면에 직진성이 우수한 광을 균일한 조도로 조사할 수 있다. 또한, 본 출원의 마스크는, 예를 들면, 피조사체가 곡면인 경우에도 효율적으로 광을 조사할 수 있다.