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发明名称 磁控溅镀阴极及成膜装置
摘要
申请公布号 TWI431143 申请公布日期 2014.03.21
申请号 TW098129201 申请日期 2009.08.28
申请人 爱发科股份有限公司 日本 发明人 高桥明久;山田晋也;石桥晓;佐久间幸平
分类号 C23C14/35 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 日本
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