发明名称 溅射靶材、溅射靶材的制造方法及薄膜形成方法
摘要
申请公布号 TWI431142 申请公布日期 2014.03.21
申请号 TW102114229 申请日期 2012.06.07
申请人 半导体能源研究所股份有限公司 日本 发明人 山崎舜平;丸山哲纪;井本裕己;佐藤瞳;渡边正宽;增山光男;冈崎健一;中岛基;岛津贵志
分类号 C23C14/34;C23C14/08 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本