| 摘要 |
<p>Eine Einrichtung (4) zum Auslenken eines Laserstrahls (2) für eine Laserstrahlbearbeitungsvorrichtung (1) zum Bearbeiten eines Werkstücks wird bereitgestellt. Die Einrichtung weist einen Aufbaukörper (3), ein Bauelement (12) mit einer spiegelnden Oberfläche (15), ein flexibles Element (13), durch das das Bauelement (12) um einen Auslenkwinkel um eine beliebige Raumachse auslenkbar verbindbar ist, eine erste kraftausübende Komponente und mindestens eine zweite kraftausübende Komponente auf, wobei zumindest eine der kraftausübenden Komponenten (14, 17) derart ansteuerbar ist, dass sich die beiden kraftausübenden Komponenten (14, 17) in Abhängigkeit von der Ansteuerung anziehen oder abstoßen. Eine der kraftausübenden Komponente (14, 17) ist mit dem Bauelement (12) gekoppelt und die beiden kraftausübenden Komponenten (14, 17) sind so angeordnet und wirken zusammen, dass das Bauelement (12) um die beliebige Raumachse um den Auslenkwinkel auslenkbar ist. Ferner weist die Einrichtung (4) ein Winkelerfassungsmittel (19) zum Erfassen eines tatsächlichen Auslenkwinkels und eine Auslenkwinkelkorrektursteuerungsvorrichtung (20) zum Steuern eines Auslenkens des Bauelements (12) in Abhängigkeit von einem vorbestimmten Auslenkwinkel und dem tatsächlichen Auslenkwinkel auf, so dass der tatsächliche Auslenkwinkel dem vorbestimmten Auslenkwinkel entspricht. Mit dieser Einrichtung kann eine Einrichtung zum Ablenken eines eine Fläche überstreichenden Laserstrahls bereitgestellt werden, die einen geringen Platzbedarf aufweist, die eine hohe Genauigkeit aufweist und die kostengünstig hergestellt und betrieben werden kann.</p> |
