| 摘要 |
<p>본 발명의 하전 입자 현미경 시스템은, 하전 입자 현미경의 조작 항목을 GUI 화면(2) 상의 컨트롤 버튼에 표시된 항목으로 한정하는 것을 특징으로 한다. 유저가 하전 입자 현미경의 GUI 화면(2) 상에서, 원하는 관찰 조건에 대응한 컨트롤 버튼(41, 42, 43)을 한 번만 조작하면, 상기 관찰 조건에 따라, 테이블에 보존된 전자 광학 조건이 설정되고, 측정을 행할 수 있다. 이에 의해, 직감적이고 조작이 용이한 하전 입자 현미경용의 그래피컬 유저 인터페이스 환경을 제공하는 것이 가능하게 되었다.</p> |
