| 摘要 |
<p>본 실시예의 잉곳 성장 장치는, 내부 공간을 갖는 메인 챔버; 상기 메인 챔버 내에 마련되고, 실리콘 융액이 수용되는 도가니; 상기 도가니를 수용하는 도가니 지지대; 상기 도가니 지지대를 승강 또는 회전시키는 회전축; 상기 도가니의 측방향에 마련되는 측면 히터; 상기 도가니의 상측에 위치하고, 잉곳 성장을 위한 종자 단결정이 결합가능한 씨드척; 상기 씨드척에 착탈되며, 실리콘 융액을 가열하기 위한 상부 히터; 상기 씨드척이 승강되도록 상기 씨드척에 연결되는 씨드척 와이어; 및 상기 상부 히터로 전기를 제공하기 위한 일렉트로드;가 포함되고, 상기 일렉트로드의 길이를 조절하기 위한 서브 권취부는, 상기 메인 챔버의 상측에 구성된다.</p> |
