用于确定散射参数的测量系统

摘要

本发明涉及一种用于确定基板(38)上的电子测量对象(40、42、44、46、48)的散射参数的测量系统，该测量系统具有测量装置(10)，该测量装置(10)具有至少一个测量信道(18、20、22、24)和被电连接到至少一个测量信道(18、20、22、24)的至少一个测量探针(28)，所述至少一个测量探针(28)被设计成以非接触或接触的方式与电路中的电子测量对象(40、42、44、46、48)的电信号线(50)连接。根据本发明，为至少一个测量探针(28)设置第一定位装置(30)，其中，至少一个传感器(34)检测至少一个测量探针(28)的位置并且输出位置信号。

主权项

一种测量系统，其用于确定基板（38）上的待测电子器件（40、42、44、46、48）的散射参数，所述测量系统具有测量装置（10），所述测量装置（10）具有至少一个测量信道（18、20、22、24）和被连接到所述至少一个测量信道（18、20、22、24）的至少一个测量探针（28），所述测量探针（28）被设计成以物理接触或非物理接触的方式与电路中的属于所述待测电子器件（40、42、44、46、48）的电信号引导线（50）接触，为所述至少一个测量探针（28）设置第一定位装置（30），设置用于检测所述至少一个测量探针（28）的位置并且发出位置信号的至少一个传感器（34），所述第一定位装置具有电机驱动的驱动器，所述测量系统的特征在于，设置至少一个第一控制单元（32），所述第一控制单元（32）被连接到所述传感器（34），以接收来自所述传感器（34）的位置信号，并且所述第一控制单元（32）被设计成以使被所述传感器（34）检测位置的所述测量探针（28）相对于所述待测电子器件（40、42、44、46、48）位于空间中的预定位置的方式致动所述至少一个第一定位装置（30），设置至少一个第二定位装置（72），所述第二定位装置（72）被电机驱动的部件驱动，并且被设计成机械地调整所述基板（38）的位置，设置用于致动所述第二定位装置（72）的至少一个第二控制单元，设置将来自所述至少一个传感器（34）的位置数据传送到所述至少一个第二控制单元的数据路径，所述第一控制单元和所述第二控制单元被集成为一个控制单元（32），所述至少一个传感器（34）检测所述测量探针（28）相对于所述基板（38）上的位置标记的位置并且向所述至少一个第一控制单元（32）发出位置信号，设置用于在所述测量装置（10）和至少一个控制单元（32）之间传送数据的数据传送路径（36）。