发明名称 |
一种改善太阳能电池片均匀性的磷扩散方法 |
摘要 |
本发明公开了一种改善太阳能电池片均匀性的磷扩散方法,通过改变氮气流量和压力来改善扩散均匀性,有效地控制其炉管内部气氛场状态及掺杂气体流动速度,从而达到扩散工艺的稳定性及重复性,使得整管均匀性及单片均匀性都得到一定改善,从而电性能得到一定改善。 |
申请公布号 |
CN103646999A |
申请公布日期 |
2014.03.19 |
申请号 |
CN201310694365.4 |
申请日期 |
2013.12.18 |
申请人 |
上饶光电高科技有限公司 |
发明人 |
李战辉;李志强;刘谦;王鹏;黄治国 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I;H01L21/228(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
江西省专利事务所 36100 |
代理人 |
杨志宇 |
主权项 |
一种改善太阳能电池片均匀性的磷扩散方法,其特征为:使用的硅片是电阻率为1‑3ohm.cm的156mm╳156mm规格的P型多晶硅片,常规酸制绒后具体步骤如下:1)、准备阶段;2)、进舟阶段;3)、出舟阶段;4)、检漏阶段;5)、加热阶段;6)、预氧化阶段;7)、扩散阶段;8)、后氧化阶段;9)、推进阶段;10)、扩散阶段;11)、推进阶段;12)、冷却阶段;13)、进舟阶段;14)、出舟阶段。 |
地址 |
334100 江西省上饶市上饶经济开发区旭日片区 |