一种石墨烯-铂超级电容器复合电极材料的制备方法

摘要

一种石墨烯-铂超级电容器复合电极材料的制备方法，本发明涉及复合电极材料的制备方法。本发明要解决现有CVD方法制备的石墨烯存在制备温度较高，厘米量级的石墨烯并不能作为电极材料应用于超级电容器中的问题。方法：将基底材料置于等离子体增强化学气相沉积真空装置中，通入氩气，并在温度为700℃～900℃下保温，再通入碳源气体进行沉积，沉积结束后，停止通入碳源气体，最后冷却至100℃以下，即得到石墨烯-铂超级电容器复合电极材料。本发明一种石墨烯-铂超级电容器复合电极材料的制备方法制备温度低，比容高，减小了电子阻力，能作为电极材料应用于超级电容器。本发明用于一种石墨烯-铂超级电容器复合电极材料的制备方法。

主权项

一种石墨烯‑铂超级电容器复合电极材料的制备方法，其特征在于一种石墨烯‑铂超级电容器复合电极材料的制备方法是按照以下步骤进行的：一、将基底材料置于等离子体增强化学气相沉积真空装置中，抽真空至压强为5Pa以下，以气体流量为10sccm～50sccm通入氩气，调节抽真空速度将等离子体增强化学气相沉积真空装置中压强控制为100Pa～300Pa，并在压强为100Pa～300Pa和氩气气氛下30min内将温度升温至为700℃～900℃，并在温度为700℃～900℃下保温10min～60min；二、通入碳源气体，调节碳源气体和氩气的气体流量比为(5～35):80，并调节抽真空速度将等离子体增强化学气相沉积真空装置中压强控制为200Pa～700Pa，然后在沉积系统射频电源频率为13.56MHz、射频功率为150W～250W、压强为200Pa～700Pa和温度为700℃～900℃条件下进行沉积，沉积时间为40min～80min，沉积结束后，关闭射频电源和加热电源，停止通入碳源气体，继续以气体流量为20sccm～60sccm通入氩气，并调节抽真空速度将等离子体增强化学气相沉积真空装置中压强控制为50Pa～200Pa，在压强为50Pa～200Pa和氩气气氛下从温度为700℃～900℃冷却至100℃以下，即得到石墨烯‑铂超级电容器复合电极材料。