铝互连线结构和形成铝互连线结构的方法

摘要

一种铝互连线结构和形成铝互连线结构的方法，该方法包括：提供衬底；在衬底上依次形成下层阻挡层、铝层和上层阻挡层；过刻蚀上层阻挡层，暴露出部分铝层；在所述暴露出的铝层侧壁形成钝化层；继续刻蚀所述铝层并刻蚀所述下层阻挡层，形成铝互连线结构。形成的铝互连线的线宽与下层阻挡层和上层阻挡层的线宽基本相同，在进行氧化硅介质层的填充时，在氧化硅介质层和铝互连线侧壁之间不形成空洞和缝隙，从而不会影响产品性能。

主权项

一种形成铝互连线结构的方法，其特征在于，包括：提供衬底；在所述衬底上依次形成下层阻挡层、铝层和上层阻挡层；过刻蚀所述上层阻挡层，暴露出部分铝层；在所述暴露出的铝层侧壁形成钝化层；继续刻蚀所述铝层并刻蚀下层阻挡层，形成铝互连线结构，所述形成的钝化层的侧壁同时可以起到导向的作用，使刻蚀笔直的向下进行，从而使铝互连线的线宽和下层阻挡层的线宽、上层阻挡层的线宽相同。