一种机械手臂

摘要

本发明涉及半导体设备制造领域，尤其涉及一种机械手臂，包括主体、晶圆承载夹持结构和至少一个连接该主体与晶圆承载夹持结构的连接臂；其中，该晶圆承载夹持结构包括若干个超声波传感器，该若干个超声波传感器分别设置于该晶圆承载夹持结构上表面与下表面的远离所述连接臂的一端处，以及靠近所述连接臂的一端处，且这些超声传感器呈等腰三角形分布，从而实现实时监控晶圆承载夹持结构的上表面与下表面通晶圆之间的距离，通过比较三个超声波传感器与晶圆之间的距离，即可判断晶圆承载夹持结构是否发生倾斜，并且当检测到的距离小于安全值时，手臂控制器会发出手臂停止的指令，从而达到防止刮伤晶圆的目的。

主权项

一种机械手臂，应用于半导体晶圆的取放作业中，其特征在于，所述机械手臂包括主体、晶圆承载夹持结构和至少一个连接该主体与晶圆承载夹持结构的连接臂；其中，该晶圆承载夹持结构包括有设置在晶圆承载夹持结构上的若干个超声波传感器，该若干个超声波传感器分别设置于该晶圆承载夹持结构远离所述连接臂的一端处，以及靠近所述连接臂的一端处，以检测晶圆承载夹持结构的表面与晶圆之间的距离。