监控多腔体设备缺陷状况的晶圆作业方法

摘要

本发明公开了一种监控多腔体设备缺陷状况的晶圆作业方法，应用于生产执行系统中，包括：将缺陷检测站点抽检晶圆的规则和所有多腔体设备中的腔体信息保存到服务器中；待作业晶圆到达任一工序，由服务器确定其中的待抽检晶圆，并控制当前工序中的多腔体设备将待抽检晶圆分配到当前工序中的多腔体设备的不同腔体中进行作业，并动态记录当前的分配和作业信息；由当前工序中的缺陷检测站点对作业后的所述待抽检晶圆进行缺陷检测，根据缺陷检测结果监控当前工序中多腔体设备的缺陷情况。采用本发明的技术方案，可以在生产执行系统中对工序设备的多个腔体的缺陷状况进行有效的监控，同时可以对晶圆产生缺陷的原因做到快速和准确的判断。

主权项

一种监控多腔体设备缺陷状况的晶圆作业方法，应用于生产执行系统中，所述生产执行系统包括若干个工序，每个工序均包括多腔体设备和缺陷检测站点，其特征在于，包括如下步骤：S1，提供一中央服务器；S2，设定缺陷检测站点抽检晶圆的规则，将缺陷检测站点抽检晶圆的规则和所有多腔体设备中的腔体信息保存到所述中央服务器中；S3，当待作业晶圆到达任一工序时，由所述中央服务器根据所述缺陷检测站点抽检晶圆的规则确定所述待作业晶圆中的待抽检晶圆，之后由所述中央服务器根据当前工序中的多腔体设备中的腔体信息，控制当前工序中的多腔体设备将所述待抽检晶圆分配到当前工序中的多腔体设备的不同腔体中进行作业，并由所述中央服务器动态记录当前的分配和作业信息；S4，由当前工序中的缺陷检测站点对作业后的所述待抽检晶圆进行缺陷检测，根据缺陷检测结果监控当前工序中多腔体设备的缺陷情况。