使用高透明电极改善撷取的离子束的品质的技术

摘要

揭示一种使用高透明电极改善撷取的离子束的品质的技术。在一特定的示例实施例中，技术可以实现为一种用于离子植入的装置。装置可包括用以产生离子束的离子源，离子源包括具有孔径的面板，且离子束行进通过所述孔径。装置亦可包括撷取电极组，撷取电极组包括至少一抑制电极与一高透明接地电极，其中撷取电极组可经由面板从离子源撷取离子束，以及其中高透明接地电极可经组态以最佳化抑制电极与高透明接地电极之间的气体传导，以改善撷取的离子束的品质。

主权项

一种装置，用以改善离子束的品质，包括： 离子源，用以产生离子束，所述离子源包括具有孔径的面板，其中所述离子束行进通过所述孔径；以及 撷取电极组，包括至少一抑制电极与一高透明接地电极，其中所述撷取电极组经由所述面板从所述离子源撷取所述离子束，以及其中所述高透明接地电极经组态以最佳化所述抑制电极与所述高透明接地电极之间的气体传导，以改善撷取的离子束的品质，并且其中所述高透明接地电极经组态成具有总高度H、一或多个狭缝部、基底角θ以及狭缝角δ，其中所述总高度包括基底高度y以及狭缝高度x，使得所述基底高度y小于所述狭缝高度x，且基底对狭缝的高度的比值y/x等于或小于1。