发明名称 PROCEDE DE DETACHEMENT D'UNE COUCHE
摘要 <p>La présente invention concerne un procédé de détachement d'une couche à détacher (12) d'un substrat donneur (11), comprenant les étapes suivantes : a) Assembler le substrat donneur (11) et un substrat poreux (13), b) Application d'un traitement (E) de modification chimique des cristallites, la modification chimique étant adaptée pour générer une variation de volume des cristallites, ladite variation de volume génère une déformation en compression ou en tension du substrat poreux (13), ladite déformation en compression ou en tension génère une contrainte en tension ou en compression dans le substrat donneur (11), ce qui provoque une fracture selon un plan de fracture (14), ledit plan de fracture (14) délimitant la couche à détacher (12), ladite contrainte conduisant au détachement de la couche à détacher (12) du substrat donneur (11).</p>
申请公布号 FR2995444(A1) 申请公布日期 2014.03.14
申请号 FR20120002437 申请日期 2012.09.10
申请人 SOITEC 发明人 BARTHELEMY ALEXANDRE
分类号 H01L21/301 主分类号 H01L21/301
代理机构 代理人
主权项
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