以工业液氯为原料制备电子级高纯氯气的方法

摘要

发明公开了一种以工业液氯为原料制备电子级高纯氯气的方法，由工业液氯气化后经多级物理干燥、吸附脱除二氧化碳、压缩冷凝、精馏脱除氮气、氧气、氢气、一氧化碳、甲烷等低沸点气体制得99.999%以上的电子级高纯氯气。该制备方法成本低，收益高，制得的产品纯度高，产品可广泛应用于光纤通信、微电子、高温超导材料的制备。

主权项

一种以工业液氯为原料制备电子级高纯氯气的方法，其特征在于，包括以下步骤：原料工业液氯经气化后，从装有干燥剂的一级干燥塔底部进入，经吸附脱除大部分水分后从塔顶出来； 再进入装有干燥剂的二级干燥塔底部，经深度脱水，脱除微量水分后从塔顶出来，脱除后氯气中的水分含量小于0.5ppm； 然后从装有吸附剂的吸附塔底部进入，吸附脱除二氧化碳和极微量水分后从塔顶出来，吸附后二氧化碳含量小于2ppm；减压，冷凝后进入精馏塔，氮气，氧气，氢气，一氧化碳，甲烷等低沸点气体从塔顶排出，形成尾气后并回收，脱除后氮气含量小于2ppm，氧气含量小于1ppm，一氧化碳含量小于1ppm，甲烷小于1ppm，氢气含量小于0.2ppm；从精馏塔塔底出来的高纯液氯纯度达到99.999%以上，经压缩灌装系统装瓶，装瓶后的高纯液氯，金属离子总含量小于0.3ppm。