粗糙度或表面微结构轮廓测量仪

摘要

实用新型涉及一种用于测量待测物体的待测物体表面(9)的粗糙度或表面微结构轮廓的测量仪。该测量仪包括：壳体(1)；测量探测器，该测量探测器包括探测杆(4)，在该探测杆上固定有表面探测体(10)，用于检测待测物体表面(9)的粗糙度或表面微结构轮廓；进给装置，用于使表面探测体(10)沿着移动路径在探测路径长度上运动；用于检测表面探测体(10)相对于待测物体表面(9)的位置的测量系统(6)；驱动、数据采集和/或评价电子装置(12)和/或计算机接口；和间距测量系统(3)，用于检测在表面探测体(10)和待测物体表面之间的距离或者用于检测壳体或测量探测器或保护体相对于待测物体表面(9)的空间方位和/或位置。

主权项

一种用于测量待测物体（9）的待测物体表面的粗糙度或表面微结构轮廓的粗糙度或表面微结构轮廓测量仪，包括： 一壳体（1）； 测量探测器，该测量探测器包括探测杆（4），该探测杆基本上设置在所述壳体中或者完全设置在所述壳体中或者从所述壳体（1）伸出，其中，在所述探测杆（4）上固定有表面探测体（10），用于接触式或非接触式检测待测物体表面的粗糙度或表面微结构轮廓； 机动化的或者配设有致动器的进给装置，用于使表面探测体（10）沿着移动路径在探测路径长度上运动； 用于检测表面探测体（10）相对于待测物体表面的位置的测量系统（6）；和 驱动、数据采集和/或评价电子装置（12）和/或计算机接口； 其特征在于：在所述壳体（1）上或者在所述测量探测器上或在用于保护探测杆（4）和/或表面探测体（10）以防被损坏的保护体（2）上，固定有用于检测在表面探测体（10）和待测物体（9）的待测物体表面之间的距离或者用于检测所述壳体（1）或测量探测器或保护体（2）相对于待测物体（9）的待测物体表面的空间方位和/或位置的至少一个间距测量系统（3）。