| 发明名称 | 外延片生长基盘 | ||
| 摘要 | 延片生长基盘，由储槽、盘体组成，其特征是储槽设置在盘体上，储槽设置为直径相等的圆形，本实用新型的有益效果是外延片生长基盘一次能生长54片，生产效率高，生产成本低，外延片的均匀性较好，外延片的质量稳定。 | ||
| 申请公布号 | CN203474961U | 申请公布日期 | 2014.03.12 |
| 申请号 | CN201320559604.0 | 申请日期 | 2013.09.10 |
| 申请人 | 冠铨（山东）光电科技有限公司 | 发明人 | 邓顺达;林溪汉;黄英杰 |
| 分类号 | C30B25/12(2006.01)I | 主分类号 | C30B25/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 外延片生长基盘，由储槽（1）、盘体（2）组成，其特征是储槽（1）设置在盘体（2）上，储槽（1）设置为直径相等的圆形，所述的储槽（1）的深度设置为0～650um，所述的储槽（1）的底部形式设置为平底型、斜底型、凹型、凸型、阶梯型中的一种或二种以上的混合形式，其底部高度差设置为0.001～0.5um，所述的储槽（1）数量设置为54个，储槽（1）的布置形式沿正六边形布置，以盘体（2）的中心为六边形同心依次向外设置4层，每层储槽（1）设置个数从内向外依次分别为：6、12、18、18。 | ||
| 地址 | 272000 山东省济宁市高新区崇文大道6688号(联电工业园) | ||