蒸镀设备

摘要

发明有关于一种蒸镀设备，包含蒸镀材供应装置、蒸镀材输入管、承载台、机台以及旋转机构。蒸镀材输入管连通蒸镀材供应装置，承载台具有承载面，承载面用以承载待蒸镀基板，机台设置于承载台下方并与承载台相对设置。机台包含至少喷气管，喷气管具有前端口、多个喷嘴以及末端部，前端口连通蒸镀材输入管，末端部位于喷气管相对于前端口的另一端，这些喷嘴沿着前端口至末端部设置，当喷气管在操作状态下，末端部比前端口更靠近承载面。

主权项

一种蒸镀设备，其特征在于，包含：一蒸镀材供应装置；一蒸镀材输入管，连通该蒸镀材供应装置；一承载台，具有一承载面，该承载面用以承载一待蒸镀基板；一机台，设置于该承载台下方，该机台与该承载台相对设置，该机台包含:至少一喷气管，具有一前端口、多个喷嘴以及一末端部，该前端口连通该蒸镀材输入管，该末端部位于该喷气管相对于该前端口的另一端，该些喷嘴沿着该前端口至该末端部设置，其中该前端口与该承载面之间具有一第一距离，该末端部与该承载面之间具有一第二距离；以及一旋转机构，用以旋转该机台至一操作状态，其中当该喷气管在该操作状态下，该第一距离大于该第二距离。