提高除杂效果的多晶硅定向凝固装置

摘要

实用新型涉及一种提高除杂效果的多晶硅定向凝固装置，包括炉体，炉体内放置有石英坩埚，石英坩埚外壁由内向外依次环绕设置有石墨发热体、保温套筒和感应线圈，石英坩埚底部设置有与炉体底部通连的拉锭机构，其特征在于炉体与保温套筒之间竖直通连有石墨管，该石墨管下方连接有曲形石墨加热器，该曲形石墨加热器位于保温套筒和石英坩埚之间，位于炉体外上方的石墨管上连接有驱动机构。本实用新型的优点在于：（1）金属杂质在定向凝固后的硅锭中分布具有方向性，便于切除，减少尾部废料的切除率；（2）设备改造简单，在现有设备的基础上，只需要在石英坩埚上方增加曲形石墨加热器即可，成本控制好；（3）减少了原料的浪费，大大缩减了多晶硅原料的成本。

主权项

一种提高除杂效果的多晶硅定向凝固装置，包括炉体，炉体内放置有石英坩埚，石英坩埚外壁由内向外依次环绕设置有石墨发热体、保温套筒和感应线圈，石英坩埚底部设置有与炉体底部通连的拉锭机构，其特征在于炉体与保温套筒之间竖直通连有石墨管，该石墨管下方连接有曲形石墨加热器，该曲形石墨加热器位于保温套筒和石英坩埚之间，位于炉体外上方的石墨管上连接有驱动机构。