一种微光像增强器阴极制造工具的清洁方法

摘要

发明公开了一种微光像增强器阴极制造工具的清洁方法，主要用于微光像增强器光电阴极制造时用的锑碱座、单管座接线柱陶瓷部分的表面清洁。其主要技术方案是：采用等离子清洗和超声清洗相结合的综合方法，其工艺流程由清洗前的准备、去离子水超声、去离子水冲洗、酒精超声、烘干、工件装机、调节氩氧气压力、等离子清洗、结束程序及检验组成。本发明通过试用证明：与原清洗方法相比，清洗效率提高了10倍以上，成本降低了80%，无环境污染，在微光像增强器阴极制造中的合格率基本上达到100%，完全适应大批量生产的需求。

主权项

一种微光像增强器阴极制造工具的清洁方法，其特征在于：包含工序A清洗前的准备、B去离子水超声、C去离子水冲洗、D酒精超声、E烘干、F工件装机、G调节氩氧气压力、H等离子清洗、I结束程序、J检验，其具体操作：A、清洗前的准备，将锑碱座和单管座的法兰盘（1）用抛光砂纸把残留物磨抛掉，法兰盘上的刀口（4）朝下，用塑料小锤对其侧边轻轻敲打，去除接线柱孔内的残留物，并用压缩空气吹干净；B、去离子水超声，把锑碱座和单管座放入流动的去离子水中冲洗15分钟，之后将锑碱座和单管座放入不锈钢桶内并装满去离子水，进行超声清洗10分钟；C、去离子水冲洗，将锑碱座和单管座放入流动的去离子水中冲洗15分钟；D、酒精超声，将锑碱座和单管座放入不锈钢桶内并装满酒精，进行超声清洗至少5分钟；E、烘干，将锑碱座和单管座刀口（4）朝下，放入100℃的烘箱里烘干4小时；F、工件装机，将锑碱座和单管座装入等离子清洗机的石英腔体内，关好腔体密封门；G、调节氩氧气压力，打开氩气减压阀，使输出氩气压力达到0.1MPa，打开氧气减压阀，使输出氧气压力达到0.1MPa；H、等离子清洗，启动等离子清洗机运行程序，首先对石英腔体进行抽真空达10‑4乇，接着对石英腔体冲入氩气和氧气，其比例为3：1，使石英腔体内的真空度控制在10‑2乇，之后启动辉光放电，功率450W，对锑碱座和单管座进行等离子清洗10分钟；I、结束程序，关掉氩气和氧气，在石英腔体内冲入氮气，当石英腔体内的压力恢复到大气压时，打开石英腔体门，取出锑碱座和单管座；J、检验，用带高压表的电源加2500V的直流电压，对锑碱座和单管座陶瓷接线柱的电阻值进行测量，其阻值均能达到20GΩ以上为合格，否则不合格。