发明名称 |
用于太阳能电池的硒化方法及其硒化装置 |
摘要 |
种用于太阳能电池的硒化方法及其硒化装置,该硒化装置包含一个加热腔体、安装于该加热腔体上的一个真空机构与一个加压机构,以及一个气流循环机构。该加热腔体包括一个供所述太阳能电池的半成品放置的反应空间,以及一个对该反应空间加热的加热部。该加压机构将硒化反应气体送入该反应空间。该气流循环机构安装在该反应空间内,并使该反应空间内的硒化反应气体循环流动。从而使硒化反应气体能均匀分布,而与所述半成品均匀地发生硒化反应,同时还可缩短升降温时间及硒化反应时间,并提升生产速度及生产效率。 |
申请公布号 |
CN103628043A |
申请公布日期 |
2014.03.12 |
申请号 |
CN201210302949.8 |
申请日期 |
2012.08.24 |
申请人 |
北儒精密股份有限公司 |
发明人 |
黄导阳;谢昆山;张延任;林忠明 |
分类号 |
C23C16/448(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/448(2006.01)I |
代理机构 |
北京泰吉知识产权代理有限公司 11355 |
代理人 |
张雅军 |
主权项 |
一种用于太阳能电池的硒化方法,包含:步骤A:将一个表面形成有一个前驱物层的基板单元放入一个加热腔体内;步骤B:将该加热腔体抽真空;其特征在于,该硒化方法还包含:步骤C:提升该加热腔体内的气流循环性,并将硒化反应气体通入该加热腔体内以增加该加热腔体内的气压值,同时增加该加热腔体内的温度;步骤D:持续将硒化反应气体通入该加热腔体内,使该加热腔体内的气压值增加至2~6atm之后进行退火,使硒化反应气体与该前驱物层反应形成一个光吸收层。 |
地址 |
中国台湾台南市 |