发明名称 |
非连续复合阻挡层、其形成方法及包含其的封装结构 |
摘要 |
发明提出一种非连续复合阻挡层及其形成方法。非连续复合阻挡层包括:一第一阻挡层,位于一基板上;以及一第二阻挡层,位于第一阻挡层上,其中第一、第二阻挡层皆包括间隔设置的多个无机材料区及多个有机硅化合物(organo-silicon material)区,且第一、第二阻挡层的无机材料区与有机硅化合物区上下交替堆叠。本发明还提供包含上述非连续复合阻挡层的封装结构。 |
申请公布号 |
CN103633248A |
申请公布日期 |
2014.03.12 |
申请号 |
CN201210410391.5 |
申请日期 |
2012.10.24 |
申请人 |
财团法人工业技术研究院 |
发明人 |
陈俊廷;赖丰文;林昆蔚;王登彦 |
分类号 |
H01L51/50(2006.01)I;H01L51/52(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I |
主分类号 |
H01L51/50(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
宋焰琴 |
主权项 |
一种非连续复合阻挡层,包括:一第一阻挡层,位于一基板上;以及一第二阻挡层,位于该第一阻挡层上,其中该第一、第二阻挡层皆包括间隔设置的多个无机材料区及多个有机硅化合物(organo‑silicon material)区,且该第一、第二阻挡层的所述无机材料区与所述有机硅化合物区上下交替堆叠。 |
地址 |
中国台湾新竹县 |