发明名称 非连续复合阻挡层、其形成方法及包含其的封装结构
摘要 发明提出一种非连续复合阻挡层及其形成方法。非连续复合阻挡层包括:一第一阻挡层,位于一基板上;以及一第二阻挡层,位于第一阻挡层上,其中第一、第二阻挡层皆包括间隔设置的多个无机材料区及多个有机硅化合物(organo-silicon material)区,且第一、第二阻挡层的无机材料区与有机硅化合物区上下交替堆叠。本发明还提供包含上述非连续复合阻挡层的封装结构。
申请公布号 CN103633248A 申请公布日期 2014.03.12
申请号 CN201210410391.5 申请日期 2012.10.24
申请人 财团法人工业技术研究院 发明人 陈俊廷;赖丰文;林昆蔚;王登彦
分类号 H01L51/50(2006.01)I;H01L51/52(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I 主分类号 H01L51/50(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 宋焰琴
主权项 一种非连续复合阻挡层,包括:一第一阻挡层,位于一基板上;以及一第二阻挡层,位于该第一阻挡层上,其中该第一、第二阻挡层皆包括间隔设置的多个无机材料区及多个有机硅化合物(organo‑silicon material)区,且该第一、第二阻挡层的所述无机材料区与所述有机硅化合物区上下交替堆叠。
地址 中国台湾新竹县