发明名称 |
具有周期性结构的光学薄膜的瑕疵检测方法及其检测装置 |
摘要 |
发明提供一种用于检测具有周期性结构光学薄膜的瑕疵检测方法及检测装置,瑕疵检测方法包括以下步骤:(A)于具有周期性结构的待检测光学薄膜上撷取的原始影像;(B)从原始影像中撷取子影像;(C)从原始影像中撷取比对影像;(D)将子影像与比对影像进行影像处理;(E)计算该处理影像的平均灰阶值;(F)分析该平均灰阶值以判断该子影像所对应的光学薄膜是否具有瑕疵。本发明的瑕疵检测方法可有效地检测出具有周期性结构的光学薄膜上的瑕疵,并且可以避免环境光源的影响,提高了检测精度。 |
申请公布号 |
CN103630547A |
申请公布日期 |
2014.03.12 |
申请号 |
CN201310612596.6 |
申请日期 |
2013.11.26 |
申请人 |
明基材料有限公司;明基材料股份有限公司 |
发明人 |
邱锦勋;游莉敏;陈威仰;高志远 |
分类号 |
G01N21/88(2006.01)I |
主分类号 |
G01N21/88(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种用于检测具有周期性结构的光学薄膜的瑕疵检测方法,其特征在于该瑕疵检测方法包括以下步骤:(A)于具有周期性结构的待检测光学薄膜上撷取原始影像,该原始影像具有m个周期的周期性结构,其中m为正数;(B)从该原始影像中撷取子影像,该子影像具有n个周期的周期性结构,其中n为正数,且n<m;(C)从该原始影像中撷取比对影像,该比对影像具有n组重复排列的结构,其中n为正数,n<m,该比对影像的撷取位置与该子影像的撷取位置不同,但该比对影像的面积与该子影像的面积相同;(D)将该子影像与该比对影像进行影像处理以得到处理影像;(E)计算该处理影像的平均灰阶值;以及(F)分析该平均灰阶值以判断该子影像所对应的光学薄膜是否具有瑕疵。 |
地址 |
215121 江苏省苏州市工业园区春辉路13号 |