发明名称 具有安全性和灵活性的碱性蚀刻液循环再生系统
摘要 发明公开了一种具有安全性和灵活性的碱性蚀刻液循环再生系统,包括依次连接的蚀刻生产线用水设备(1)、中转母液罐(2)、母液罐(3)、碱性蚀刻液循环再生设备组(6)、再生子液罐组(8)、配液罐(11)、过滤器(12)、子液罐组(16),子液罐组(16)再与蚀刻生产线用水设备(1)连接形成循环,所述相邻的两个部件之间均设置有高压泵。本发明的优点在于:本发明设计的这种具有安全性和灵活性的碱性蚀刻液循环再生系统,效率高,成本低,提高了系统处理废液的灵活性、安全性和可靠性。
申请公布号 CN103628066A 申请公布日期 2014.03.12
申请号 CN201210304449.8 申请日期 2012.08.24
申请人 成都虹华环保科技有限公司 发明人 韦建敏;张小波;张晓蓓
分类号 C23F1/46(2006.01)I 主分类号 C23F1/46(2006.01)I
代理机构 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 代理人 谢敏
主权项 具有安全性和灵活性的碱性蚀刻液循环再生系统,其特征在于:包括依次连接的蚀刻生产线用水设备(1)、中转母液罐(2)、母液罐(3)、碱性蚀刻液循环再生设备组(6)、再生子液罐组(8)、配液罐(11)、过滤器(12)、子液罐组(16),子液罐组(16)再与蚀刻生产线用水设备(1)连接形成循环,所述相邻的两个部件之间均设置有高压泵。
地址 610000 四川省成都市高新区西芯大道4号