发明名称 | 具有安全性和灵活性的碱性蚀刻液循环再生系统 | ||
摘要 | 发明公开了一种具有安全性和灵活性的碱性蚀刻液循环再生系统,包括依次连接的蚀刻生产线用水设备(1)、中转母液罐(2)、母液罐(3)、碱性蚀刻液循环再生设备组(6)、再生子液罐组(8)、配液罐(11)、过滤器(12)、子液罐组(16),子液罐组(16)再与蚀刻生产线用水设备(1)连接形成循环,所述相邻的两个部件之间均设置有高压泵。本发明的优点在于:本发明设计的这种具有安全性和灵活性的碱性蚀刻液循环再生系统,效率高,成本低,提高了系统处理废液的灵活性、安全性和可靠性。 | ||
申请公布号 | CN103628066A | 申请公布日期 | 2014.03.12 |
申请号 | CN201210304449.8 | 申请日期 | 2012.08.24 |
申请人 | 成都虹华环保科技有限公司 | 发明人 | 韦建敏;张小波;张晓蓓 |
分类号 | C23F1/46(2006.01)I | 主分类号 | C23F1/46(2006.01)I |
代理机构 | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人 | 谢敏 |
主权项 | 具有安全性和灵活性的碱性蚀刻液循环再生系统,其特征在于:包括依次连接的蚀刻生产线用水设备(1)、中转母液罐(2)、母液罐(3)、碱性蚀刻液循环再生设备组(6)、再生子液罐组(8)、配液罐(11)、过滤器(12)、子液罐组(16),子液罐组(16)再与蚀刻生产线用水设备(1)连接形成循环,所述相邻的两个部件之间均设置有高压泵。 | ||
地址 | 610000 四川省成都市高新区西芯大道4号 |