太阳能槽式曲面反光镜面形误差检测装置

摘要

阳能槽式曲面反光镜面形误差检测装置，涉及镜面检测领域，它解决现有对槽式曲面反光镜面形误差的检测时存在检测过程繁琐耗时，并且不适合快速、在线检测的问题，同时存在对后续的图像处理复杂的问题，本装置包括光源装置、自校准装置和图像采集与处理装置；光源装置包括激光器、扩束镜和分束镜组；激光器发出的光束经扩束镜扩束后再经分束镜组分束并反射，经分束镜组分束后的测试光束投射至被测曲面反光镜上，经分束镜组反射的自校准光束入射至自校准装置，自校准装置对投射至被测曲面反光镜上的测试光束的平行度校准；图像采集与处理装置接收被测曲面反光镜反射的光斑信息并判断被测曲面反光镜的面形误差。本发明易于操作，成本较低。

主权项

太阳能槽式曲面反光镜面形误差检测装置，该装置包括光源装置、自校准装置和图像采集与处理装置；其特征是；所述光源装置包括激光器（1）、扩束镜（2）和分束镜组（3）；图像采集与处理装置包括光屏（18）、相机（16）和计算机（21）；所述激光器（1）发出的光束经扩束镜（2）扩束后再经分束镜组（3）分束并反射，经分束镜组（3）分束后的测试光束投射至被测曲面反光镜（13）上，经分束镜组（3）反射的自校准光束入射至自校准装置，所述自校准装置对投射至被测曲面反光镜（13）上的测试光束的平行度校准；所述光屏（18）接收被测曲面反光镜（13）反射的光斑信息，相机（16）采集光屏（18）上的光斑信息并将光斑信息传输至计算机（21）中，计算机（21）通过接收的光斑信息判断被测曲面反光镜（13）的面形误差；所述自校准装置包括自校准装置包括f‑θ透镜（9）和CCD探测器（10）；所述自校准光束经f‑θ透镜（9）会聚于CCD探测器（10）上。