基板保持件收纳装置、基板处理设备及基板保持件移动法

摘要

供基板保持件收纳装置、基板处理设备以及使用该基板保持件收纳装置的基板保持件移动方法，该基板保持件收纳装置能够减少占地面积。该装置包括：可动台(A)，其在板厚方向上并排地保持多个基板保持件并且前后移动；可动台(B)，其与可动台(A)平行地设置并且在板厚方向上并排地保持多个基板保持件，该可动台(B)前后移动；以及台间移送机构，其用于允许由停止在预定位置的可动台(A)和(B)中的一方保持的基板保持件被可动台(A)和(B)中的另一方保持。

主权项

一种基板保持件收纳装置，其用于收纳基板保持件，所述基板保持件收纳装置包括：室；第一可动保持单元，其设置在所述室内，并且所述第一可动保持单元被构造成允许在与重力方向交叉的第一方向上并排地保持多个所述基板保持件，所述第一可动保持单元能够在所述第一方向上前后移动；第二可动保持单元，其与所述第一可动保持单元平行地设置在所述室内，并且所述第二可动保持单元被构造成允许在所述第一方向上并排地保持多个所述基板保持件，所述第二可动保持单元能够在所述第一方向上前后移动；台间移送单元，其设置在所述室内，并且所述台间移送单元被构造成通过输送辊的转动使保持在所述第一可动保持单元和所述第二可动保持单元中的一方的预定保持位置的所述基板保持件在与所述第一方向不同的方向上移动，从而使所述第一可动保持单元和所述第二可动保持单元中的另一方保持所述基板保持件。