发明名称 描图系统、描图资料的修正装置与修正方法、基板的制造方法以及电脑程式产品
摘要
申请公布号 TWI430052 申请公布日期 2014.03.11
申请号 TW096121152 申请日期 2007.06.12
申请人 奥克制作所股份有限公司 日本 发明人 三好久司
分类号 G03F9/00;G02B26/12;G03F7/26 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人 洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼
主权项
地址 日本