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经营范围
发明名称 基板固持装置、研磨设备及弹性薄膜
摘要
申请公布号 TWI430388 申请公布日期 2014.03.11
申请号 TW094143523 申请日期 2005.12.09
申请人 荏原制作所股份有限公司 日本 发明人 户川哲二;吉田博;锅谷治;福岛诚;深谷孝一
分类号 H01L21/68;H01L21/304;B24B37/04 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人 洪武雄 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼;陈昭诚 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼
主权项
地址 日本
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