一种高温抗氧化铌合金复合涂层及其制备方法

摘要

本发明公开了一种高温抗氧化铌合金复合涂层及其制备方法。该复合涂层采用Cr、Nb、Al三种高纯金属靶材，应用磁控溅射技术在基材上沉积形成Al/Nb-Cr复合涂层，具体为：直流反应磁控溅射Cr，在基材上预沉积厚约0.05-0.15μm的Cr作为过渡层；直流反应磁控溅射Nb和Cr，Nb和Cr元素含量为：Nb 35-45at%、Cr 55-65at%，在过渡层上沉积Nb-Cr涂层，涂层厚度为3-5μm；直流反应磁控溅射Al，在已沉积的Nb-Cr涂层上再沉积Al外层，沉积厚度为3-4μm。本发明制备的Al/Nb-Cr复合涂层，与基体结合好，涂层均匀致密，表现出良好的高温抗氧化性能，工艺简单且重复性好，可大面积制备。

主权项

一种高温抗氧化铌合金复合涂层，其特征在于：采用Cr 、Nb、Al三种高纯金属靶材，应用磁控溅射技术在基材上沉积形成Al/Nb‑Cr复合涂层，具体为：直流反应磁控溅射Cr，在基材上预沉积厚约0.05‑0.15μm的Cr作为过渡层；直流反应磁控溅射Nb 和Cr，Nb和Cr元素含量为：Nb 35‑45at%、Cr 55‑65at%，在过渡层上沉积Nb‑Cr涂层，涂层厚度为3‑5μm；直流反应磁控溅射Al，在已沉积的Nb‑Cr涂层上再沉积Al外层，沉积厚度为3‑5μm。