用于与流体高压隔离结合使用的电极在固体介质内的封装

摘要

一种用于带电粒子束系统的电感耦合等离子体源包括提供改进的电隔离与减少后的电容RF耦合的导电屏蔽以及使等离子体绝缘并且对其进行冷却的介电流体。可以将导电屏蔽封闭在固体介电介质内。可以通过泵使介电流体循环或不可以通过泵使其循环。热管可以用于对介电流体进行冷却。

主权项

一种带电粒子束系统，包括：等离子体源，具有：等离子体室，该等离子体室具有由介电材料组成的壁，该壁具有内部表面和外部表面；盘绕该等离子体室至少一圈的导线；由导电材料组成并且基本上封装在介电介质内的屏蔽，该导电屏蔽放置在该等离子体室与盘绕该等离子体室的导线之间；以及用于使该等离子体电偏置到高电压的源电极；以及一个或多个用于使来自该等离子体源的带电粒子聚焦到样品上的聚焦透镜。