| 发明名称 | 制造方法及其所用设备 | ||
| 摘要 | 一种使用机器在基底上的至少一个部件区域中制造至少一个部件的方法，所述机器具有相对于所述基底可相对移动的基底加工部，所述方法包括：至少在所述基底加工部和基底处在所述基底加工部能够加工在所述基底上的所述至少一个部件区域的位置关系时，通过读取由所述基底提供的至少第一计量标尺来测量所述基底加工部相对于所述基底的位置。 | ||
| 申请公布号 | CN103619770A | 申请公布日期 | 2014.03.05 |
| 申请号 | CN201280031693.X | 申请日期 | 2012.07.05 |
| 申请人 | 瑞尼斯豪公司 | 发明人 | 科里·威廉·迈克尔·费伦;杰弗里·麦克法兰 |
| 分类号 | C03C17/00(2006.01)I;G03F1/00(2012.01)I;G03F7/20(2006.01)I;B23K26/06(2014.01)I | 主分类号 | C03C17/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京金思港知识产权代理有限公司 11349 | 代理人 | 邵毓琴 |
| 主权项 | 一种使用机器在基底上的至少一个部件区域中制造至少一个部件的方法，所述机器具有相对于所述基底可相对移动的基底加工部，所述方法包括：至少在所述基底加工部和基底处在所述基底加工部能够加工所述基底上的所述至少一个部件区域的位置关系时，通过读取由所述基底提供的至少第一计量标尺来测量所述基底加工部相对于所述基底的位置。 | ||
| 地址 | 英国格洛斯特郡 | ||