发明名称 一种基片架
摘要 本实用新型属于玻璃真空镀膜设备领域,特别是涉及一种玻璃真空镀膜设备所用的、用于固定和传载玻璃基片的基片架。本实用新型的一种基片架,包括由第一外横杆、第二外横杆、第一竖杆、第二竖杆、至少二根调节横杆构成的基片架的主架体,及玻璃基片固定结构。其中,包括一个导磁横杆,该导磁横杆通过若干连接块与第一外横杆连接。本实用新型用于固定和传载玻璃基片,以进行玻璃真空镀膜作业。
申请公布号 CN203462124U 申请公布日期 2014.03.05
申请号 CN201320543797.0 申请日期 2013.09.03
申请人 厦门万德宏光电科技有限公司 发明人 钟赐春
分类号 C23C14/50(2006.01)I 主分类号 C23C14/50(2006.01)I
代理机构 泉州市诚得知识产权代理事务所(普通合伙) 35209 代理人 何家富
主权项 一种基片架,包括由第一外横杆、第二外横杆、第一竖杆、第二竖杆、至少二根调节横杆构成的基片架的主架体,及玻璃基片固定结构,其特征在于:还包括一个导磁横杆,该导磁横杆通过若干连接块与第一外横杆连接。
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