SiCN/TiCN多层膜刀具涂层及其制备方法

摘要

本发明公开了一种SiCN/TiCN多层膜刀具涂层及其制备方法。本发明所述的SiCN/TiCN多层膜刀具涂层由SiCN和TiCN交替沉积制备，涂层最外层为SiCN层，最内层为TiCN。这种多层膜涂层充分结合了SiCN和TiCN薄膜的优点，实现了一种涂层多功能化，即具备低摩擦、高硬度和抗氧化等特点，同时可显著降低刀具表面粗糙度。本发明采用气相沉积法获得SiCN/TiCN多层膜刀具涂层，制备工艺相对简单，适合产业化生产，所制备的涂层性能稳定，可用于不同类型的切削刀具。

主权项

一种SiCN/TiCN多层膜刀具涂层，其特征在于：在刀具基体上，依次交替沉积TiCN层和SiCN层构成SiCN/TiCN涂层，紧贴刀具基体的是TiCN层，最外层为SiCN层，所述SiCN/TiCN涂层为非晶‑纳米晶结构，所述SiCN层中硅主要以Si‑N键存在，碳主要以sp2键形式存在，同时存在部分sp3键；采用离子束辅助的方法沉积所述TiCN层和SiCN层；所述的SiCN层和TiCN层中，各元素百分比含量可变。