四氟化硅气合成的改进的方法

摘要

一种从含氟进料生产四氟化硅的方法。所述方法在使含氟进料与含硅进料的混合物与硫酸反应以生产四氟化硅之前，煅烧含氟进料和含硅进料。用硫酸洗涤所述四氟化硅。过量的硫酸被再循环到所述方法。所述方法展示了一种生产高质量四氟化硅的经济且环境友好的途径。

主权项

一种从金属氟化物生产四氟化硅的方法，所述方法包括：（a）煅烧并混合进料与硅石，以生产氟硅酸盐复合物；（b）使所述氟硅酸盐复合物与硫酸反应，以生产四氟化硅和金属硫酸盐；以及（c）洗涤所述四氟化硅，以移除过量的湿气、尘和其他酸性气体，其中所述进料颗粒和硅石在从200微米到600微米范围的尺寸，并且其中煅烧所述进料在从300℃到400℃范围的温度发生。