扩散炉的新型气路

摘要

本发明涉及一种扩散炉的新型气路，属于太阳能光伏电池制造技术领域，主要特点是反应气体在设置的混合装置中充分混合后通过扩散炉炉门的进气口从炉口的中间位置喷入石英管中，再通过石英管尾部中间位置的尾排将尾气抽出。本发明在现有扩散炉设备的基础上，只需对3个部件进行一定的改进，改造成本较小；在进气之前，将气体充分混合，保证了反应的均匀性，从而改善了扩散方阻的均匀性，降低了人力成本；由于气路的改变，改善了气体分布的均匀性，提高了扩散方阻的均匀性，降低了人力成本由于气路的改变，使炉管的定期维护变得更加简单，成本也有所降低。

主权项

一种扩散炉的新型气路，包括扩散炉、扩散炉炉门、扩散炉内的石英管，进气管路，尾排管路，其特征是，反应气体在设置的混合装置中充分混合后通过扩散炉炉门的进气口从炉口的中间位置喷入石英管中，再通过石英管尾部中间位置的尾排将尾气抽出。