| 发明名称 | 一种脉冲电镀方法及其应用 | ||
| 摘要 | 本发明属于半导体互连工艺技术领域，具体涉及一种脉冲电镀方法及其应用。本发明方法包括：若干个阶段，每个阶段包括若干个周期；每个周期为施加一个正向脉冲，再施加一个反向脉冲，反向脉冲的电流大于正向脉冲的电流，反向脉宽短于正向脉宽，反向脉间和正向脉间相同；其中，每个阶段中的正向脉间和反向脉间不变；后一个阶段的正向脉间短于前一个阶段的正向脉间。其优点在于反向的脉冲电流来加速离子浓度恢复，两次脉冲之间的电流关断时间提供一个弛豫时间，并且此周期中的退镀过程也提高了镀层表面平整性。本发明方法可用于金属互连结构的制备中。 | ||
| 申请公布号 | CN103603018A | 申请公布日期 | 2014.02.26 |
| 申请号 | CN201310500309.2 | 申请日期 | 2013.10.23 |
| 申请人 | 复旦大学 | 发明人 | 卢红亮;朱尚斌;孙清清;丁士进;张卫 |
| 分类号 | C25D5/18(2006.01)I;C25D7/12(2006.01)I;C25D7/04(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I | 主分类号 | C25D5/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人 | 陆飞;盛志范 |
| 主权项 | 一种脉冲电镀方法，其特征在于具体步骤为：分为若干个阶段，每个阶段包括若干个周期；每个所述周期为施加一个正向脉冲，再施加一个反向脉冲，反向脉冲的电流大于正向脉冲的电流，反向脉宽短于正向脉宽，反向脉间和正向脉间相同；其中，每个阶段中的正向脉间和反向脉间不变；后一个阶段的正向脉间短于前一个阶段的正向脉间。 | ||
| 地址 | 200433 上海市杨浦区邯郸路220号 | ||