用于MEMS装置的阳极接合

摘要

本发明涉及一种装置，包括彼此固定的包括硅区域的晶片和包括玻璃区域的晶片，由此形成在晶片之间的该固定区定义了多层结构，该多层结构包括保护硅不受由于表面侵蚀引起的物理变化的第一层，该层覆盖硅区域，和保护玻璃不受由于表面侵蚀引起的物理变化的第二层，该层覆盖玻璃区域；所述多层结构还包括能够在两个保护层之间实现阳极接合的至少一个附加层；所述装置包含由所述保护层保护的并且能够暂时容纳溶液的至少一个流体通道。

主权项

一种装置，包括彼此固定的一个具有硅表面的晶片和一个具有玻璃表面的晶片，形成在所述晶片之间的固定区定义了多层结构，所述多层结构包括第一层，防止由覆盖硅表面的表面的侵蚀造成的材料的物理改变，和第二层，防止由覆盖玻璃表面的表面的侵蚀造成的材料的物理改变；所述多层结构还包括至少一个附加层，所述至少一个附加层实现在两个保护层之间形成的阳极接合；所述装置具有至少一个被所述保护层保护的流体通路，适于暂时容纳溶液；所述附加接合层具有足够薄的厚度，以在所述附加接合层上发生侵蚀时在该接合上形成毛细管截止阀。