矽聚合物，聚合矽化合物之方法，及由该矽聚合物形成薄膜之方法

摘要

一种用于控制包含通式SinH2n及SinH2n＋2以及烷基矽烷和芳基矽烷在内的氢矽烷(hydrosilanes)化合物的聚合及/或寡聚作用(oligomerization)之组合物及方法，以制造可溶的矽聚合物，其系作为低碳含量之矽膜的前驱物。