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发明名称
摘要
申请公布号	JP5422767(B1)	申请公布日期	2014.02.19
申请号	JP20130099706	申请日期	2013.05.09
申请人		发明人
分类号	H01L21/683;G02F1/1333	主分类号	H01L21/683
代理机构		代理人
主权项
地址

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